微細流動装置および微細流動装置の制御設備

摘要

流体の流れを調整するためのバルブをより簡便で、機械的に操作することができるように、複数のチャンバーが備えられたプラットホームと、前記チャンバーの間を連結する少なくとも一つ以上の流路と、前記流路を開閉するバルブと、を含み、前記バルブは、前記流路を選択的に遮断する遮断部材と、前記遮断部材に設置されて遮断部材を移動させる加圧部材と、を含み、前記加圧部材は、外力の方向と同一方向に直線往復運動して遮断部材を押して移動させる構造であり、前記バルブは、加圧部材を移動した位置に固定したり元の位置に復帰させて遮断部材による流路の開閉を可逆的に制御する駆動部をさらに含む微細流動装置を提供する。