发明名称 MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02205674(A) 申请公布日期 1990.08.15
申请号 JP19890026376 申请日期 1989.02.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HIGUCHI YOICHI
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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