发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02205321(A) 申请公布日期 1990.08.15
申请号 JP19890026187 申请日期 1989.02.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KATO TAKASHI
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址