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发明名称
摘要
申请公布号
JPH06103164(B2)
申请公布日期
1994.12.14
申请号
JP19900192942
申请日期
1990.07.23
申请人
发明人
分类号
G01B7/34;G01Q30/08;G01Q30/16;G01Q30/20;G01Q60/10;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34
主分类号
G01B7/34
代理机构
代理人
主权项
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