发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0749367(A) 申请公布日期 1995.02.21
申请号 JP19930193560 申请日期 1993.08.04
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 YOSHIKI TAMOTSU
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/82;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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