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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11102961(A) 申请公布日期 1999.04.13
申请号 JP19970263423 申请日期 1997.09.29
申请人 NEC CORP 发明人 KITANO TOMOHISA
分类号 H01L21/76;H01L21/265;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/824 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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