发明名称 |
Organic anti-reflective coating material and its preparation |
摘要 |
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申请公布号 |
GB9927833(D0) |
申请公布日期 |
2000.01.26 |
申请号 |
GB19990027833 |
申请日期 |
1999.11.26 |
申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
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分类号 |
H01L21/027;C07C69/00;C07C69/017;C07C69/54;C07C69/773;C08F8/00;C08F20/12;C08F20/18;C08F220/14;C08F220/28;C08K5/07;C08L33/04;C09D5/00;C09D133/06;G03F7/11 |
主分类号 |
H01L21/027 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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