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发明名称 Adsorbent gas scrubber to dispose the gas generated during the semiconductor manufacturing process
摘要
申请公布号 GB2348378(B) 申请公布日期 2001.05.23
申请号 GB19990007308 申请日期 1999.03.31
申请人 * KOREA M.A.T. CO LTD 发明人 DONG SOO * KIM
分类号 B01D53/34;B01D53/04;B01D53/81;B01D53/86;B01J20/08;B01J20/20;H01L21/02;(IPC1-7):B01D53/04 主分类号 B01D53/34
代理机构 代理人
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