| 发明名称 |
Vorrichtung zum Aufbringen von Beschichtungen auf ein Substrat durch eine induktiv-angekoppelte magnetisch-begrenzte Plasmaquelle |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69919499(D1) |
申请公布日期 |
2004.09.23 |
| 申请号 |
DE19996019499 |
申请日期 |
1999.01.14 |
| 申请人 |
VLAAMSE INSTELLING VOOR TECHNOLOGISCH ONDERZOEK, AFGEKORT V.I.T.O. |
发明人 |
DEKEMPENEER, ERIK |
| 分类号 |
H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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