布线修复设备

摘要

一种布线修复设备包括放置衬底的XY台，布置在XY台上方的激光源单元，布置在激光源单元和XY台之间的第一和第二气体窗口，以及第一和第二CVD气体单元。激光源单元发射激光束到欲修复的一部分衬底。此激光束通过第一或第二气体窗口。第一CVD气体单元为第一气体窗口提供Al源气体，即DMAH气体而第二CVD气体单元为第二气体窗口提供Cr气体，即Cr(CO)₆气体。

主权项

1.一种布线修复设备，用于采用激光CVD修复形成在衬底上的布线的损坏部分，此设备包含：激光源单元，用于产生用来照射所述布线的损坏部分的激光束；多个CVD气体单元，用于产生不同的CVD源气体；以及气体窗口单元，将来自所述CVD气体单元的所述源气体提供到所述布线的被照射部分。