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发明名称 Wässrige Dispersion für das chemisch-mechanische Polieren
摘要
申请公布号 DE60031745(T2) 申请公布日期 2007.09.20
申请号 DE2000631745T 申请日期 2000.08.17
申请人 JSR CORP. 发明人 MOTONARI, MASAYUKI;HATTORI, MASAYUKI;KAWAHASHI, NOBUO
分类号 C09G1/02;C09K3/14;H01L21/321 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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