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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号
EP1791172(A4)
申请公布日期
2009.01.28
申请号
EP20050776943
申请日期
2005.08.30
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
ABE, TOSHIJI;TAKAHASHI, TOSHIKI;MATSUURA, HIROYUKI
分类号
H01J37/32
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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