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发明名称 METHOD FOR ELIMINATING LOW FREQUENCY ERROR SOURCES TO CRITICAL DIMENSION UNIFORMITY IN SHAPED BEAM WRITING SYSTEMS
摘要
申请公布号 KR100880491(B1) 申请公布日期 2009.01.28
申请号 KR20077014119 申请日期 2007.06.21
申请人 发明人
分类号 H01J37/302;H01J37/147;H01J37/22;H01L21/027 主分类号 H01J37/302
代理机构 代理人
主权项
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