| 摘要 |
프로브 길이의 영향을 받지 않고 웨이퍼에 설치된 반도체 디바이스의 전극과 프로브 카드의 프로브를 양호하게 접촉시킬 수 있는 웨이퍼 검사용 인터페이스를 제공한다. 웨이퍼 검사용 인터페이스(40)는, 웨이퍼(W)와의 대향면에 복수의 프로브(43b)를 구비한 프로브 카드(43)와, 프로브 카드(43)의 프로브(43b)가 형성된 면과는 반대의 면을 지지하는 포고 프레임(42)과, 웨이퍼(W)를 사이에 두고 프로브 카드(43)와 대향하는 대 형상의 척 부재(45)와, 이 척 부재(45)와 포고 프레임(42)과의 사이의 공간을 밀봉하고, 포고 프레임(42)에 일단이 고정되고, 타단의 하부 플랜지(46b)가 척 부재(45)에 접촉하는 통 형상의 벨로우즈(46)와, 이 벨로우즈(46)의 길이 조절 기구와 벨로우즈(46)의 이동을 안내하는 가이드 부재(47)를 구비하고, 척 부재(45)와 포고 프레임(42)과의 사이의 공간을 감압하는 감압 경로(51)를 가진다. |
