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发明名称 APPARATUS FOR PLASMA PROCESSING
摘要
申请公布号 JPS6396919(A) 申请公布日期 1988.04.27
申请号 JP19860243655 申请日期 1986.10.14
申请人 PLASMA SYST:KK 发明人 SATO YASUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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