| 发明名称 |
ELECTRODE FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR AND FORMATION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0387066(A) |
申请公布日期 |
1991.04.11 |
| 申请号 |
JP19890225903 |
申请日期 |
1989.08.30 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MONSANTO CHEM CO;MITSUBISHI KASEI CORP |
发明人 |
IBUKA TOSHIHIKO;NOGUCHI MASAHIRO |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/285;H01L29/43;H01L29/45 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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