| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR CARRYING-OUT AND-IN FROM/TO VACUUM VESSEL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04159918(A) |
申请公布日期 |
1992.06.03 |
| 申请号 |
JP19900282561 |
申请日期 |
1990.10.19 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
OHASHI SHIGEJI;YAMAMOTO TAKATOSHI |
| 分类号 |
B65G49/00;H01L21/205;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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