发明名称
摘要
申请公布号 JPH0793419(B2) 申请公布日期 1995.10.09
申请号 JP19920295035 申请日期 1992.11.04
申请人 发明人
分类号 H01L27/15;H01L31/0232;H01L31/10;H01L31/11;H01L31/12;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/06;H01S5/183;(IPC1-7):H01L27/15;H01S3/18 主分类号 H01L27/15
代理机构 代理人
主权项
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