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发明名称 MANUFACTURE OF SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH08107223(A) 申请公布日期 1996.04.23
申请号 JP19940239798 申请日期 1994.10.04
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 HASHIMOTO KOICHI
分类号 H01L29/872;H01L21/265;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/331;H01L29/47;H01L29/73;(IPC1-7):H01L29/872 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
主权项
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