| 发明名称 |
PROCESS FOR MANUFACTURING FIELD EFFECT TRANSISTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0591939(A3) |
申请公布日期 |
1997.01.15 |
| 申请号 |
EP19930116140 |
申请日期 |
1993.10.06 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
HUELSMANN, AXEL |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/285;H01L21/335;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/335;H01L29/76 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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