发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH10144932(A) 申请公布日期 1998.05.29
申请号 JP19970330622 申请日期 1997.12.01
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 OKA HIDEAKI
分类号 H01L29/786;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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