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发明名称 PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0150572(B1) 申请公布日期 1998.10.01
申请号 KR19950001525 申请日期 1995.01.27
申请人 MITSUBISHI DENKI KK. 发明人 KAMON, KAZUYA
分类号 G02B17/06;G02B27/46;G02B27/58;G03B27/32;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G02B17/06
代理机构 代理人
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