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发明名称 Optical arrangement
摘要
申请公布号 EP1113337(A3) 申请公布日期 2005.03.23
申请号 EP20000124721 申请日期 2000.11.13
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 SCHUSTER, KARL-HEINZ;XALTER, STEFAN;BECKER, JOCHEN;VON BUENAU, RUDOLF;WAGNER, CHRISTIAN;HUMMEL, WOLFGANG;HOLDERER, HUBERT
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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