多晶硅氢还原炉

摘要

一种多晶硅氢还原炉，属通过电化学反应制造多晶硅的反应器。其封头和炉体均带有冷却水腔，炉体经法兰与底板联接，底板上设有12对电极，电极在底板上沿两个圆周均布设置；进气管主要由水平环管和9个喷嘴连通构成，其中8个喷嘴位于两圈电极之间、且沿同一圆周均布设置在底板上，一个喷嘴设置在底板中心位置。本新型电极对数较多，进气阻力小，具有单台设备产量高、质量更好的优点。

主权项

1、一种多晶硅氢还原炉，包括带有冷却水腔的封头和炉体，底板，底板下的进气管和排气管，底板上的电极，其特征在于，所述电极为12对、即24个电极，且在底板(9)上沿两个圆周均布设置；所述进气管(7)主要由一个水平环管和9个喷嘴连通构成，其中8个喷嘴位于两圈电极之间、且沿同一圆周均布设置在底板(9)上，一个喷嘴设置在底板中心位置。