一种旋转监控片的光学薄膜自动监控装置

摘要

本发明公开了一种旋转监控片的光学薄膜自动监控装置，涉及一种薄膜产品制备过程中的监控设备。本发明包括：光源发射系统、驱动电机、工件架、晶控仪探头、监控片旋转机构、信号接收系统、信号转换系统、晶控仪、计算机、真空室和监控片。监控片旋转机构和晶控仪探头设置在真空室内，光源发射系统发出光信号，入射到真空室内，在监控片上形成光斑，由信号接收系统接收后，经过信号转换和计算机处理，监控薄膜厚度，控制材料的蒸发速率。本发明采用把监控片旋转机构设计成内环和外环，中间采用细钢丝连接，这样的结构避免了监控片旋转时对晶控仪探头的遮挡，实现了旋转监控片状态下的光控系统和晶控仪对镀膜过程的联动控制。

主权项

1.一种旋转监控片的光学薄膜自动监控装置，包括：光源发射系统(1)、驱动电机(2)、工件架(3)、晶控仪探头(4)、监控片旋转机构(5)、信号接收系统(6)、信号转换系统(7)、晶控仪(8)、计算机(9)、真空室(10)和监控片(11)，其特征在于：监控片旋转机构(5)和晶控仪探头(4)设置在真空室(10)内；监控片旋转机构(5)由内环(5-1)、外环(5-2)和中间的连接钢丝(5-3)组成，内环5-1用以固定监控片(11)，外环(5-2)和工件架(3)相连，实现旋转监控片(11)状态下的光控系统和晶控仪对镀膜过程的联动控制，避免监控片(11)旋转时对晶控仪探头(4)的遮挡；由工件架(3)的转动带动监控片(11)转动，用工件架(3)来传动监控片旋转机构(5)的转动。