| 发明名称 | 一种透明导电薄膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开的透明导电薄膜是镓掺杂或铝掺杂的锌镁氧薄膜，各组成的摩尔百分比含量为：铝或镓1.0～5.0％，镁1～20.0％，余量为锌，(Zn+Mg+Al)或(Zn+Mg+Ga)与O的摩尔数之比为1∶1。采用直流反应磁控溅射法，以锌镁铝或锌镁镓合金为靶材制备。本发明方法简单，掺杂量易控制，沉积系统简单、易操作、可实现大面积镀膜，与其它制备技术相比，更有利于实现工业化生产。本发明制得的镓掺锌镁氧和铝掺锌镁氧透明导电薄膜具有高透过率，良好的电光学性能，重复性和稳定性。 | ||
| 申请公布号 | CN101221830A | 申请公布日期 | 2008.07.16 |
| 申请号 | CN200710160242.7 | 申请日期 | 2007.12.14 |
| 申请人 | 浙江大学 | 发明人 | 叶志镇;马全宝 |
| 分类号 | H01B1/08(2006.01);H01B5/14(2006.01);C23C14/06(2006.01);C23C14/34(2006.01) | 主分类号 | H01B1/08(2006.01) |
| 代理机构 | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人 | 韩介梅 |
| 主权项 | 1.一种透明导电薄膜，其特征在于它是镓掺杂或铝掺杂的锌镁氧薄膜，各组成的摩尔百分比含量为：铝或镓 1.0～5.0％镁 1～20.0％余量为锌，上述组分含量之和为100％，(Zn+Mg+Al)或(Zn+Mg+Ga)与O的摩尔数之比为1∶1。 | ||
| 地址 | 310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号 | ||