自动恒温加热装置

摘要

自动恒温加热装置，属于MEMS惯性敏感器件封装级别进行加热恒温控制技术领域。该装置包括外层的封装外壳、内层的封装外壳、封装内腔、MEMS加速度计敏感元件、加热装置、温度敏感元件以及恒温控制电路；外层的塑料封装外壳、内层的陶瓷封装外壳两层封装；封装内腔内安装有MEMS加速度计敏感元件、加热装置和温度敏感元件；恒温控制电路在外层的封装外壳外，并通过外层的封装外壳、内层的封装外壳与封装内腔的加热装置和温度敏感元件电气相连。本发明通过自动恒温加热的方式，提高MEMS惯性敏感器件的温度特性从而改善MEMS惯性传感器的整体性能。节省功耗，提高温控精度，提高恒温点温控范围，减少对传感器和系统其它部分的影响。

主权项

1、自动恒温加热装置，其特征在于，该自动恒温加热装置包括外层的封装外壳、内层的封装外壳、封装内腔、MEMS加速度计敏感元件、加热装置、温度敏感元件以及恒温控制电路；外层的塑料封装外壳、内层的陶瓷封装外壳两层封装；封装内腔内安装有MEMS加速度计敏感元件、加热装置和温度敏感元件；恒温控制电路在外层的封装外壳外，并通过外层的封装外壳、内层的封装外壳与封装内腔的加热装置和温度敏感元件电气相连。