发明名称 |
一种具有高导电性能ITO膜的制备方法 |
摘要 |
本发明涉及一种膜的制备方法,旨在提供一种具有高导电性能ITO膜的制备方法,包括以下步骤:(1)将锡的无机盐前驱物溶于乙醇,将铟的无机盐前驱物溶于乙酰丙酮,控制锡和铟的摩尔质量之比为1∶10;将两种溶液混合后在60~65℃下搅拌回流3小时,得到均一透明的淡黄色溶胶;(2)以石英玻璃为基体,对上述溶胶进行提拉镀膜,提拉速度为200mm/min;再将溶胶膜在100℃下预热处理10分钟,之后在550℃下退火处理1小时,得到1层的ITO膜;重复以上步骤,得到多层的ITO膜;(3)将前述多层的ITO膜置于紫外光源下经紫外光照射处理1~10分钟,得到具有高导电性能的ITO膜。 |
申请公布号 |
CN101337773A |
申请公布日期 |
2009.01.07 |
申请号 |
CN200810063399.2 |
申请日期 |
2008.08.14 |
申请人 |
浙江理工大学 |
发明人 |
杨斌;刘杰 |
分类号 |
C03C17/23(2006.01) |
主分类号 |
C03C17/23(2006.01) |
代理机构 |
杭州中成专利事务所有限公司 |
代理人 |
唐银益 |
主权项 |
1、一种具有高导电性能ITO膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将锡的无机盐前驱物溶于乙醇,将铟的无机盐前驱物溶于乙酰丙酮,控制锡和铟的摩尔质量之比为1∶10;将两种溶液混合后在60~65℃下搅拌回流3小时,得到均一透明的淡黄色溶胶;(2)以石英玻璃为基体,对上述溶胶进行提拉镀膜,提拉速度为200mm/min;再将溶胶膜在100℃下预热处理10分钟,之后在550℃下退火处理1小时,得到1层的ITO膜;重复以上步骤,得到多层的ITO膜;(3)将前述多层的ITO膜置于紫外光源下经紫外光照射处理1~10分钟,得到具有高导电性能的ITO膜。 |
地址 |
310018浙江省杭州市下沙高教园区西区二号大街5号 |