放射线敏感性树脂组合物

摘要

本发明提供放射线敏感性树脂组合物，其包含共聚物(A)和重氮醌磺酸酯化合物(B)，所述共聚物(A)含有由不饱和羧酸衍生的结构单元(a1)和由具有环状醚基和碳-碳不饱和键的化合物(但是与不饱和羧酸不同。)衍生的结构单元(a2)，其中，重氮醌磺酸酯化合物(B)为在式(1)所示的酚类化合物中，其一部分或全部酚性羟基被重氮醌磺酸酯化得到的化合物。[式(1)中，R¹～R¹²各自独立地表示氢原子、卤原子、羟基、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为3～10的环烷基、碳原子数为2～4的烯基、碳原子数为1～10的烷氧基或苯基(可以被碳原子数为1～4的烷基、卤原子、碳原子数为1～4的烷氧基取代)，或表示可以在R¹～R⁵和R⁸～R¹²中的两个取代基间形成环的结构。其中，R¹～R⁵和R⁸～R¹²中，至少一个表示羟基。]。

主权项

1.放射线敏感性树脂组合物，其包含共聚物(A)和重氮醌磺酸酯化合物(B)，所述共聚物(A)含有由不饱和羧酸衍生的结构单元(a1)和由具有环状醚基和碳-碳不饱和键的化合物(但是与不饱和羧酸不同)衍生的结构单元(a2)，其中，重氮醌磺酸酯化合物(B)为在式(1)所示的酚类化合物中，其一部分或全部酚性羟基被重氮醌磺酸酯化得到的化合物，式(1)中，R¹～R¹²各自独立地表示氢原子，卤原子，羟基，碳原子数为1～10的烷基，碳原子数为3～10的环烷基，碳原子数为2～4的烯基，碳原子数为1～10的烷氧基或苯基(可以被碳原子数为1～4的烷基、卤原子、碳原子数为1～4的烷氧基取代)，或表示可以在R¹～R⁵和R⁸～R¹²中的两个取代基间形成环的结构，其中，R¹～R⁵和R⁸～R¹²中，至少一个表示羟基。