| 摘要 |
<p>【課題】ＭＥＭＳ反射ミラーの単振動を修正し、時間と正弦関係の角度変化量を形成して、レーザースキャンニング装置が要求する線型性走査効果を実現する二片式ｆθレンズを提供する。【解決手段】第一レンズ１３１と第二レンズ１３２を有し、第一レンズは双凸型レンズから構成し、第二レンズは双凹型またはメニスカスあるいは双凸レンズから構成する。第一レンズは第一光学面１３１ａと第二光学面１３１ｂを有し、ＭＥＭＳ反射ミラーの反射角度と時間が非線型性関係の走査光線を距離と時間が線型性関係を有する走査光線光点に置き換える。第二レンズは第三光学面１３２ａと第四光学面１３２ｂを有し、第一レンズの走査光線を修正した上目標物に集光する。かつ、第一レンズと第二レンズとも特定の光学条件を満足し、第一レンズと第二レンズを設けることにより、線型性走査効果と高解析度を実現できるように構成する。【選択図】図１</p> |
