凸块形成设备与凸块形成方法

摘要

一种凸块形成设备与凸块形成方法，适于在一晶圆的凸块垫上形成多个凸块。凸块形成设备包括一加热槽以及多个导管，其中加热槽具有一腔室，而导管系对应于凸块垫而配置于加热槽底部，且导管与腔室连通。此凸块形成方法首先提供一凸块材料至腔室内，并藉由加热槽将凸块材料加热至熔融状态。之后，将腔室内的凸块材料由导管挤出，而在晶圆的凸块垫上对应形成凸块。