- USING RADIAL BASIS FUNCTION NETWORKS AND HYPER-CUBES FOR EXCURSION CLASSIFICATION IN SEMI-CONDUCTOR PROCESSING EQUIPMENT

摘要

데이터 분석을 위한 방법 및 시스템은, 제 1 노드를 생성하는 단계, 제 1 노드에 대한 제 1 하이퍼-큐브를 결정하는 단계, 샘플이 제 1 하이퍼-큐브 내에 있는지를 결정하는 단계를 포함한다. 샘플이 제 1 하이퍼-큐브 내에 있지 않은 경우, 방법은, 샘플이 제 1 하이퍼-스피어 내에 있는지를 결정하는 단계를 포함하고, 제 1 하이퍼 스피어는 제 1 하이퍼-큐브의 대각선과 동일한 반경을 갖는다.