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发明名称 FORMATION METHOD FOR EPITAXIAL LAYER
摘要
申请公布号 JPH0684809(A) 申请公布日期 1994.03.25
申请号 JP19920237237 申请日期 1992.09.04
申请人 ROHM CO LTD 发明人 TSUJI KENJI
分类号 C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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