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发明名称 Kapasitiv transduktor med tilbakekobling ved elektrostatisk kraftpåvirkning, og fremgangsmåte for styring av profilen av dens aktive transduktorelement
摘要
申请公布号 NO943069(A) 申请公布日期 1995.02.21
申请号 NO19940003069 申请日期 1994.08.19
申请人 VAISALA OY 发明人 RYHANEN, TAPANI
分类号 G01L9/12;G01D5/241;G01L9/00;G01L11/00;G01P15/13;G05B6/02;H01L41/09;(IPC1-7):H04R 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
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