| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCTION OF MULTILAYERED EPITAXIALLY GROWN CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07330485(A) |
申请公布日期 |
1995.12.19 |
| 申请号 |
JP19940155165 |
申请日期 |
1994.06.14 |
| 申请人 |
NISSHIN STEEL CO LTD |
发明人 |
OKI KAZUHIRO;TOMIZUKA YUJI;OMURO AKIO;YAMASHITA SEIJI;KAJIMOTO ATSUSHI;NOMURA SHIGEHIKO |
| 分类号 |
C30B19/00;C30B19/06;H01S5/00;(IPC1-7):C30B19/00 |
主分类号 |
C30B19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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