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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08321583(A) 申请公布日期 1996.12.03
申请号 JP19950126852 申请日期 1995.05.25
申请人 ROHM CO LTD 发明人 MORI SADAYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/04;H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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