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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08321546(A) 申请公布日期 1996.12.03
申请号 JP19950152453 申请日期 1995.05.26
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KUMAZAKI YOSHIHIRO
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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