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发明名称 EXHAUST CONTROLLING SYSTEM FOR PROCESSING CHAMBER OF MULTIPLE SEMICONDUCTOR MANUFACTURING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH08321446(A) 申请公布日期 1996.12.03
申请号 JP19950149507 申请日期 1995.05.24
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 TOMITA MASAYUKI
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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