| 发明名称 |
TARGET HOLDING MECHANISM OF THIN FILM FORMING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08321497(A) |
申请公布日期 |
1996.12.03 |
| 申请号 |
JP19950337947 |
申请日期 |
1995.11.30 |
| 申请人 |
OMI TADAHIRO |
发明人 |
OMI TADAHIRO;SHIBATA SUNAO;UMEDA MASARU |
| 分类号 |
C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/320 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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