HEAT TREATMENT DEVICE FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE,申请号JP19950152455-传众专利搜索

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发明名称	HEAT TREATMENT DEVICE FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号	JPH08321473(A)	申请公布日期	1996.12.03
申请号	JP19950152455	申请日期	1995.05.26
申请人	NIPPON STEEL CORP	发明人	MIZUO YUURI
分类号	H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22	主分类号	H01L21/22
代理机构		代理人
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