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发明名称
摘要
申请公布号 JP2559344(B2) 申请公布日期 1996.12.04
申请号 JP19940255792 申请日期 1994.10.20
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 SAKURAI KAZUNORI;KUWABARA KEIJI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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