发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1093049(A) |
申请公布日期 |
1998.04.10 |
申请号 |
JP19960246694 |
申请日期 |
1996.09.18 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
NOGUCHI MITSUHIRO;OZAKI TORU |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/8242;H01L23/52;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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