发明名称 |
Method of producing metallic microstructures |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2327811(A) |
申请公布日期 |
1999.02.03 |
申请号 |
GB19980016240 |
申请日期 |
1998.07.24 |
申请人 |
* ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
KLAUS * HEYERS;BERNHARD * ELSNER |
分类号 |
H01L21/302;B81B3/00;C23F4/00;C25D1/00;C25D1/08;C25D1/10;H01L21/283;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):G01P15/08 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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