发明名称 MOVABLE BEAM LIMITING APPARATUS FOR ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH11233053(A) 申请公布日期 1999.08.27
申请号 JP19980052764 申请日期 1998.02.18
申请人 JEOL LTD 发明人 WAKASUGI YUKINOBU
分类号 G21K1/02;G21K5/04;H01J37/09;(IPC1-7):H01J37/09 主分类号 G21K1/02
代理机构 代理人
主权项
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