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发明名称 ADHENSION STRENGTH CHECKING EQUIPMENT OF ALUMINUM THIN FILM
摘要
申请公布号 KR200184769(Y1) 申请公布日期 2000.06.01
申请号 KR19970039350U 申请日期 1997.12.20
申请人 CHUNGHO ELCOM, CO. 发明人 HONG SUNG SOO
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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