发明名称 无电镀导线封装基板之制作方法
摘要 本发明系有关于一种无电镀导线封装基板之制作方法,主要可利用一形成于基板上表面与下表面、及导通孔内表面之导电层而传导电流,以进行电镀并且同时形成电性连接垫于基板之上下表面。其中,本发明无电镀导线封装基板之制作方法先形成上表面电路后,进行电镀形成上下表面之电性连接垫,最后利用微影蚀刻以形成下表面电路,即完成本发明无电镀导线封装基板之制程。藉此,本发明制作方法可增加电路导线之布线面积,且能提供晶片与封装基板、或封装基板与电路板间良好的电性连接品质,尚可简化制程以缩短制程时间并降低制作成本。
申请公布号 TWI277191 申请公布日期 2007.03.21
申请号 TW095107617 申请日期 2006.03.07
申请人 全懋精密科技股份有限公司 发明人 周保宏
分类号 H01L23/48(2006.01) 主分类号 H01L23/48(2006.01)
代理机构 代理人 吴冠赐 台北市松山区敦化北路102号9楼;杨庆隆 台北市松山区敦化北路102号9楼;林志鸿 台北市松山区敦化北路102号9楼
主权项 1.一种无电镀导线之封装基板之制作方法,包括以 下步骤: (a)提供一具有一上表面与一下表面之基板,且该基 板系包括复数个贯通该基板上表面与下表面之导 通孔; (b)形成一连续之金属层于该基板之上表面与下表 面、以及该等导通孔之内表面; (c)图案化该基板上表面之金属层,以形成上表面线 路层; (d)形成一具有图案化之第一阻层于该基板之上表 面与下表面,以显露出部分该上表面之金属层与部 分该下表面之金属层; (e)电镀形成一金属保护层于该上表面显露之金属 层表面与该下表面显露之金属层表面; (f)移除该第一阻层; (g)形成一具有图案化之第二阻层于该基板之上表 面与下表面,其中该第二阻层系完全覆盖该上表面 之金属层与金属保护层,该第二阻层系完全覆盖该 下表面之金属保护层,且显露出该下表面之部分金 属层; (h)图案化该下表面显露之金属层,以形成之下表面 之线路层; (i)移除该第二阻层;以及 (j)形成一具有图案化之防焊层,以显露出该上表面 之金属保护层与该下表面之金属保护层。 2.如申请专利范围第1项所述之方法,其中步骤(e)系 藉由该电镀导通孔之内表面与该下表面之金属层 传导电流,以进行电镀。 3.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该金属保 护层系包含复数个电性连接垫。 4.如申请专利范围第2项所述之方法,其中该电性连 接垫系为一打线焊垫。 5.如申请专利范围第2项所述之方法,其中该电性连 接垫系为一焊球垫。 6.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该金属保 护层系为一金属材料,且该金属材料系为金、镍、 钯、银、锡、镍/钯、铬/钛、镍/金、钯/金、镍/ 钯/金、或其组合。 7.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该步骤(a) 之基板系为表面具有一晶种层之基板。 8.如申请专利范围第7项所述之方法,其中该晶种层 系为一导电材料,且该导电材料系为至少一选自由 铜、锡、镍、铬、及钛所组成组之材料。 9.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该金属层 系为一铜金属材。 10.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该基板 系为单层电路板。 11.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该基板 系为多层电路板。 12.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该等阻 层系为一光感材料,且该光感材料系为至少一选自 由乾膜、及液态光阻所组成群组之材料。 13.如申请专利范围第1项所述之方法,其中该等阻 层之形成系利用印刷、旋转涂布、贴合、化学沈 积、或物理沈积。 图式简单说明: 图1系习知具有电镀导线之封装基板之剖面示意图 。 图2(a)至图2(d)系习知无电镀导线之封装基板之制 程示意图。 图3(a)至图3(l)系本发明一较佳实施例无电镀导线 之封装基板之制程示意图。
地址 新竹市东区新竹科学工业园区力行路6号