| 摘要 |
幾何要素の周期的パターンを感光性層に印刷する方法であって、当該方法は、周期的パターンを有するマスクを設けるステップと、前記感光性層を支持する基板を設けるステップと、前記基板を前記マスクに対して実質的に平行に配置するステップと、前記マスクによって透過された光場が、タルボ距離だけ離隔されたタルボ像面を形成するように、前記マスクパターンに照射するためのコリメートされた単色光のビームを成形するステップと、前記ビームを用いて前記マスクのＮ回の部分露光を行うステップと、前記マスクパターンを、各部分露光ごとに等しい照射エネルギー密度で露光するステップとを有し、前記部分露光は、第１の部分露光中の離隔距離に対して第ｉの露光中の相対的な離隔距離が、（ｍｉ＋ｎｉ／Ｎ）×タルボ距離となるように、各部分露光間の離隔距離を変化させながら行い、０次および１次の回折次数のみが前記マスクによって透過されるように、周期を波長との関係において選択することを特徴とする方法。 |
