半導体装置の検査装置、検査システム、検査方法、及び、検査済半導体装置の生産方法

摘要

半導体装置の出力信号を検査する検査装置であって、モニタライン上の信号を検出するモニタ装置と、モニタラインに接続されている複数の検査回路を有している。各検査回路が、半導体装置を設置可能であり、設置された半導体装置から信号が入力される信号端子を有する半導体装置支持具と、信号端子とモニタラインの間に接続されている第１抵抗器と、セレクタ端子と、信号端子とセレクタ端子の間にセレクタ端子側がカソードとなるように接続されている第１ダイオードを有している。