| 摘要 |
Спосіб виміру густини шару нанометрової товщини полягає в нанесенні шару на підкладку, записі малокутової кривої віддзеркалення монохроматичного рентгенівського випромінювання від шару, вимірі величини критичного кута повного зовнішнього віддзеркалення, визначенні індексу показника заломлення шару і обчисленні по ньому густини шару. На різні підкладки наносять серію багатошарових плівок, що складаються з періодично розташованих шарів різних компонентів, в якій послідовно змінюють товщину шару щонайменше одного з компонентів, по малокутових кривих віддзеркалення визначають період багатошарової плівки і товщину шару змінної товщини. Індекс показника заломлення шару змінної товщини визначають по тангенсу кута нахилу залежності добутку періоду багатошарової плівки і індексу показника заломлення шару змінної товщини від товщини шару змінної товщини. |
