| 摘要 |
<p>L'invention concerne de nouveaux polymères présentant des unités formés d'esters d'acides carboxyliques insaturés alpha,beta, ainsi qu'un mélange sensible au rayonnement, à fonction positive, contenant ces polymères comme liant et qui est insoluble ou, au moins, difficilement soluble, dans l'eau et dans des solutions aqueuses alcalines. Le mélange contient en outre un composé photoactif qui, lorsqu'il est irradié, libère un acide fort qui, de son côté, sépare les groupes inhibants présents dans le liant et agit de façon que la solubilité du liant, et par conséquent également du mélange, augmente fortement dans la solution aqueuse alcaline. Le mélange est sensible vis-à-vis des rayons UV, des rayons d'électrons et des rayons X et convient notamment pour une utilisation comme résist. L'invention concerne par ailleurs, de nouveaux esters des acides carboxyliques insaturés alpha,beta, dont sont constitués les polymères. En outre, l'invention concerne un matériau de reproduction sensible au rayonnement, fonctionnant positivement ou négativement, présentant un support et une couche, à fonction positive ou négative, appliquée sur ce support et contenant le mélange sensible au rayonnement selon l'invention.</p> |
